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东说念主民财讯10月5日电，沈阳新松机器东说念主（300024）自动化股份有限公司（简称“机器东说念主”）已领有在真空类晶圆传输和大气类晶圆传输系列居品的透澈自主学问产权，自主攻克的新一代真空机械手时刻，性能对标海外先进居品，时刻倡导从并排国际同类居品到收场部分倡导的告捷特出，简略为寰宇各地的半导体开导供应商提供高效和可靠的自动化贬责决策。
公司为孤独发展半导体装备业务，于2023年开导了沈阳新松半导体开导有限公司（简称“新松半导体公司”），新松半导体公司打造了领有透澈自主学问产权的自动化中枢系列居品，居品包括大气机械手、真空机械手系列、EFEM、真空传输平台，可平时作事于硅片坐蓐、晶圆加工、先进封装及封装测试等半导体制造全产业链，为客户产业链及供应链安全的褂讪提供多元保险。
现在：（1）两轴、三轴真空直驱机械手居品全面导入结尾FAB厂，已迈入先进制程产线示范诳骗阶段；四轴真空直驱机械手已完成自主研发。（2）真空传输平台系列居品，包括真空直驱机械手、真空装载机（VPH）、真空预瞄准机（ALIGNER）已通过工艺开导厂客户端考据后随其批量导入FAB厂诳骗。（3）大气类居品方面体育游戏app平台，现在开导前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入阛阓量产诳骗。（4）零部件方面，集成居品包括立式炉，以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM居品等已运行模块化及递次化定型，将逐渐收场由中枢零部件到集成居品的递次化。
